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更新時(shí)間：2023-11-18 
瀏覽次數(shù)：426響應(yīng)時(shí)間200毫秒的超高速質(zhì)量流量控制器。
使用熱傳感器實(shí)現(xiàn) 100 毫秒（典型值）的高速流量控制。琳得科的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。
±1.0% SP的高精度流量精度，數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet和EtherCAT。
超高速流量控制200msec
精度±1%SP
工作溫度5-50℃
金屬密封
清潔（保證顆粒）
環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器
EtherCAT通訊
DeviceNet™ 通信
在半導(dǎo)體制造工藝中，需要在小型化的同時(shí)提高產(chǎn)量。即使對于控制反應(yīng)氣體流量的質(zhì)量流量控制器，對更短的流量控制啟動(dòng)（上升）時(shí)間的需求也在不斷增加。超高速質(zhì)量流量控制器[MC-7000]是流量傳感器與流量測量氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器，實(shí)現(xiàn)了200℃的超高速響應(yīng)。毫秒。由于是非接觸式，因此可以在測量腐蝕性氣體的流量時(shí)進(jìn)行高速流量控制。
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 準(zhǔn)確性 | 控制范圍 | 最小滿量程 | 最大滿量程 | 貼紙 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%SP | 2~100%滿量程 | 5SCCM | 20SLM | 金 |
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