EddyCus lab 2020 Sr–非接觸式單點(diǎn)薄層電阻測試儀
這EddyCus lab 2020 Sr
是一種非接觸單點(diǎn)薄層電阻測量系統(tǒng)。該設(shè)備包含一組渦流傳感器，可將微弱電流感應(yīng)到導(dǎo)電膜和材料中。樣品中的感應(yīng)電流產(chǎn)生電磁場，該電磁場與測量對象的薄層電阻相關(guān)。該技術(shù)與表面特征或形態(tài)無關(guān)。此外，它不需要任何種類的充分樣品接觸或制備，例如從2點(diǎn)或4點(diǎn)探針測試（2PP，4PP）或霍爾效應(yīng)或范德堡測量中已知的。它既不需要設(shè)置測試結(jié)構(gòu)，也不受表面粗糙度或非導(dǎo)電封裝或鈍化層的影響。此外，測量不會對被測薄膜產(chǎn)生物理影響。由于存在機(jī)械磨損，渦流儀器的使用壽命較長。它與接觸質(zhì)量無關(guān)，速度快，可實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性和高精度，有利于R&D和測試實(shí)驗(yàn)室各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證。EddyCus工具可以由具有各種數(shù)據(jù)記錄和導(dǎo)出功能的SURAGUS軟件驅(qū)動，也可以由SURAGUS軟件開發(fā)套件驅(qū)動的客戶軟件驅(qū)動。
更新時(shí)間：2024-04-02 
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